Surface space charge effects in planar submicrometer GaAs and InP devices

C. Bru-Chevallier (1, 2) , Patrice de Carné (2) , P. Dansas (2) , Daniel Pascal (2) , Michel Rousseau (3, 2) , Suzanne Laval (2)

1 INL - S&N - INL - Spectroscopies et Nanomatériaux
2 IEF - Institut d'électronique fondamentale
3 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

Domains: Micro and nanotechnologies/Microelectronics; Engineering Sciences [physics]

C. Bru-Chevallier, Patrice de Carné, P. Dansas, Daniel Pascal, Michel Rousseau, et al.. Surface space charge effects in planar submicrometer GaAs and InP devices. IEEE Transactions on Electron Devices, 1987, ED34 (8), pp.1611-1616. ⟨hal-01977000⟩